Hohe laterale Auflösung und großer Messbereich für Strukturen im Nanometerbereich

Oberflächenmessung für Industrie, Forschung und Labor

Bei der Prüfung der Oberflächenbeschaffenheit feinster Strukturen sind Weißlicht-Interferometer in ihrem Element. Das Verfahren funktioniert auf nahezu allen Materialien, arbeitet berührungslos und liefert Höhenauflösungen im Nanometerbereich. Mit Systemen von Polytec sind großflächige Messungen heute ebenso möglich wie detaillierte, mikroskopbasierte Untersuchungen mit hoher lateraler Auflösung, z.B. zur Oberflächencharakterisierung von Wafern, optischen Komponenten oder in der Tribologie.